ГОСТ 25196-82

Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Статус: не действует в Украине

Код УКНД: 23.160

Примітка: отменен с 01-01-18 согласно приказа ГП «УкрНДНЦ» №184 от 14-12-15(ИПС 12-2015-2);действует с 01-07-83